ユーザーの立場に立った表面分析の新展開（番外Ⅲ）超低加速FE-SEM／ESBによるアルミ磁気ディスク基板表面汚染の観察

摘要

HD-VTRなどの急速な普及に伴い、アルミ磁気ディスク基板の生産枚数が増加の一途をたどっている。 最近の新聞報道などによれば、アルミ基板磁気ディスクの生産枚数はすでに年間5億枚に達し、今後も年率10％以上で増加していくと予想されている。 こうした中でディスクの信頼性を向上させ、歩留まりをさらに改善するためには微細な突起やふくれ·膜はがれなどの欠陥の発生を抑制することが不可欠である。