一种检测表面缺陷的散射光高效收集装置及收集方法

摘要

本发明公开了一种检测表面缺陷的散射光高效收集装置及收集方法，收集装置包括抛物线散射光收集器，所述抛物线散射光收集器具有抛物线焦点F1，待测缺陷位于抛物线焦点F1处，待测缺陷的散射光经过抛物线散射光收集器内表面和位于抛物线散射光收集器中心的第一透镜准直后平行射出，射出的光经过设置在抛物线散射光收集器上方的第一透镜聚焦进入散射光探测器并被探测，散射光探测器设置在第二透镜光射出方向的焦点处。将经过散射光收集器的缺陷点的散射光全部收集到散射光探测器中，具有更高的收集效率、系统信噪比和检测灵敏度。