用于吸附和/或解吸气体的至少一种成分的预浓缩器

摘要

本发明涉及一种用于吸附和/或解吸气体的至少一种气体成分的微结构（12），所述气体被输送给所述微结构（12），所述微结构包括具有下侧（16）和上侧（18）的半导体衬底（14），其中提供多个微通道（20），所述微通道分别从半导体衬底（14）的下侧（16）延伸到上侧（18），其中相应的微通道（20）的表面（22）被构造用于在气体流经相应的微通道（20）时吸附和/或解吸至少一种气体成分。