一种高温氧化物薄膜热电模块

摘要

本发明公开了一种高温氧化物薄膜热电模块，属于功能薄膜材料及器件领域。其特征在于，包括：至少一组热电对，所述热电对由P型氧化物薄膜和N型氧化物薄膜组成，P型氧化物薄膜和N型氧化物薄膜分别生长于双面抛光单晶基底的上表面和下表面，P型氧化物薄膜和N型氧化物薄膜呈X形交叉分布，P型氧化物薄膜和N型氧化物薄膜由电极依次连接，形成两个串联通路。本发明相比现有π型薄膜热电模块在单位面积上的输出功率密度显著提高，且电极用金量显著减少，成本降低。