法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/50 申请公布日:20170426 申请日:20161221
发明专利申请公布后的驳回
2017-05-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/50 申请日:20161221
实质审查的生效
2017-04-26
公开
公开
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