一种基于光强调制型 MOEMS 加速度计

摘要

本发明一种基于光强调制型MOEMS加速度计属于微电子系统领域，解决了现有传感器在特殊情况下存在电磁干扰的问题，采用的技术方案为：包括从下到上依次设置的衬底层、中间层以及器件层，其特征在于：器件层中部设置有质量块，质量块通过四个直连接梁固支于锚点，质量块的上下两边对称设有V形镜，V形镜正对面设有输入光纤卡槽，输入光纤卡槽的两侧对称设有输出光纤卡槽。