一种光学薄膜特性之间相关性的确定方法

摘要

本发明公开了一种光学薄膜特性之间相关性的确定方法，该发明的特点是通过使用统计数学的相关性分析技术，不限于特定的薄膜工艺实验设计，将同种工艺制备的薄膜特性测试结果进行分析，可得到薄膜两种特性之间的相关性。本方法对于光学薄膜特性之间相关性的分析具有普适性。