一种大周期布拉格波导光栅结构及其制备方法

摘要

一种大周期布拉格波导光栅结构及其制备方法。所述结构的波导宽度呈周期性变化，宽度变化周期>1um。其制备方法采用成熟的紫外曝光技术以及常用的波导制备工艺，利用紫外曝光技术在基片上制备大周期布拉格波导光栅掩膜图形，然后利用波导制备工艺对基片进行处理，获得与掩膜图形对应的结构。本发明的优点：本发明提出的结构可以实现红外的布拉格反射，在窄带滤波等方面具有比低阶小周期布拉格光栅更好的特性；其制备方法与当前存在的小周期布拉格波导光栅制备方法相比具有装置简单、操作方便、成本低廉等优势，具有广泛的应用前景。