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电浆基础处理系统及其运作方法

摘要

本发明公开一种电浆基础处理系统及其运作方法。在用以产生电浆的电浆反应室以及用以承载工件的支持结构之间,使用至少一个吸收装置来吸收部份的自电浆反应室中电浆产生空间传输往支持结构的电浆。在此,任一个吸收装置的材料为电性导体,并且至少一个吸收装置的结构及/或至少二个吸收装置的相对几何关系是可以调整的。借此,可以改变被传输电浆所遇到的电性导体的位置,进而改变传输往工件及/或支持结构的电浆在横截面的离子电流分布。

著录项

  • 公开/公告号CN106504970A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-03-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 汉辰科技股份有限公司;

    申请/专利号CN201610800834.X

  • 发明设计人 林伟政;河合帕克·洋子;盛天予;

    申请日2016-09-01

  • 分类号

  • 代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人寿宁

  • 地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区研新一路18号5楼

  • 入库时间 2023-06-19 01:45:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-22

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/32 申请公布日:20170315 申请日:20160901

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2017-03-15

    公开

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