公开/公告号CN106463566A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 科锐安先进科技有限公司;
申请/专利号CN201580024560.3
申请日2015-03-10
分类号H01L31/107(20060101);H01L31/0352(20060101);H01L31/028(20060101);
代理机构11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;
代理人陈桂香;曹正建
地址 美国纽约
入库时间 2023-06-19 01:45:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-05
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/107 申请公布日:20170222 申请日:20150310
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-11-14
著录事项变更 IPC(主分类):H01L31/107 变更前: 变更后: 申请日:20150310
著录事项变更
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/107 申请日:20150310
实质审查的生效
2017-02-22
公开
公开
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