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一种改善双腔室薄膜沉积设备两腔膜厚差异的抽气陶瓷环

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本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种改善双腔室薄膜沉积设备两腔膜厚差异的抽气陶瓷环，通过增大双腔室薄膜沉积设备中抽气陶瓷环的抽气孔孔径，提高气体抽走速率，从而避免抽气孔被薄膜堵塞，解决了双腔室薄膜沉积设备两腔膜厚差异较大的问题。

著录项

公开/公告号CN106480426A

专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-08

原文格式PDF
申请/专利权人沈阳拓荆科技有限公司;
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申请/专利号CN201510532721.1
发明设计人于棚;刘婧婧;杜媛婷;吴围;商庆燕;常晓娜;
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申请日2015-08-26
分类号C23C16/44;
代理机构沈阳维特专利商标事务所(普通合伙);
代理人甄玉荃
地址 110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层
入库时间 2023-06-19 01:42:42

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-15

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/44 申请公布日:20170308 申请日:20150826

发明专利申请公布后的视为撤回
2017-03-08

公开

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1. 一种改善双腔室薄膜沉积设备两腔膜厚差异的抽气陶瓷环 [P] . 中国专利： CN106480426A . 2017-03-08
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机译：（54）标题：内部燃烧发动机（57）摘要：一种内燃机包括：腔室（12）和固定到所述腔室的壁上并且将所述腔室划分为具有以下特征的第一腔室部分（14）的柔性分隔构件（18）：可变容积和具有可变容积的第二腔室部分（16）。发动机具有进气阀（20、22），以使可燃混合物的成分进入第一腔室部分以在其中燃烧，以提供压力增加以引起柔性分隔构件的挠曲，从而减小第二腔室部分的容积。迫使来自第二腔室部分的液体作为腔室的能量输出。发动机具有输入阀（98），以使水性流体进入第一腔室部分，以在第一腔室部分中提供全部水性流体供应，以保护柔性分隔构件。