一种用于光学元件反射率/透过率测量的综合测量装置

摘要

本发明涉及一种用于光学元件反射率/透过率测量的综合测量装置，其中：激光光源分束成两束激光，一束激光耦合进入到稳定的光学谐振腔，采用光腔衰荡技术测量高反射光学元件(反射率大于99％)的反射率或高透射光学元件(透过率大于99％)的透过率；另一束激光进入分光光度法测量光路，利用比率法测量反射/透射光学元件(反射率/透过率小于99％)的反射率/透过率。本发明方法能测量反射/透射光学元件任意的反射率/透过率，并对高反射率/透过率测量的测量精度比传统分光光度技术高至少2个数量级。