法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-06
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G06F19/16 申请公布日:20170215 申请日:20160905
发明专利申请公布后的驳回
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F19/16 申请日:20160905
实质审查的生效
2017-02-15
公开
公开
机译: 活性射线敏感或辐射敏感树脂组合物,基于该组合物的抗蚀膜以及一种基于该组合物的图案形成方法,该方法可以通过添加特定的化合物来改善曝光量
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