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一种改善处理镀膜后脏片的方法

摘要

一种改善处理镀膜后脏片的方法,采用可腐蚀硅化学腐蚀溶液,对去除氮化硅薄膜后的脏片进行腐蚀处理。本发明提出一种改善处理镀膜后“挂水”脏片的方法,可以很好地去除再镀膜“挂水”脏片的问题,大大降低了生产成本,提高了太阳能电池的外观品质。

著录项

  • 公开/公告号CN106384757A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-02-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 奥特斯维能源(太仓)有限公司;

    申请/专利号CN201610749718.X

  • 申请日2016-08-29

  • 分类号H01L31/18;H01L21/306;H01L21/02;

  • 代理机构北京品源专利代理有限公司;

  • 代理人巩克栋

  • 地址 215434 江苏省苏州市太仓市港口开发区平江路88号

  • 入库时间 2023-06-19 01:28:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-08

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20170208 申请日:20160829

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2017-03-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20160829

    实质审查的生效

  • 2017-02-08

    公开

    公开

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