一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法

摘要

本发明提供了一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法，其中，微缩投影系统波像差检测系统包括点衍射干涉仪、微缩投影系统以及与点衍射干涉仪处于同一光路上的球面反射系统，所述微缩投影系统置于点衍射干涉仪和球面反射系统之间，所述点衍射干涉仪、微缩投影系统以及球面反射系统自上而下依次设置在同一光路上。同时，该发明提供了一种基于上述微缩投影系统波像差检测系统的波像差检测方法。本发明提供的微缩投影系统波像差检测系统，对机械结构的变化反应敏感、装调过程能快速收敛并且波像差检测精确。