法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B23K15/08 申请公布日:20170125 申请日:20161025
发明专利申请公布后的驳回
2017-06-23
著录事项变更 IPC(主分类):B23K15/08 变更前: 变更后: 申请日:20161025
著录事项变更
2017-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):B23K15/08 申请日:20161025
实质审查的生效
2017-01-25
公开
公开
机译: 电子束检测方法,用于扫描型电子显微镜的电子束检测方法,用于扫描型电子显微镜的尺寸校准方法以及用于电子束检测装置和扫描型电子显微镜的尺寸校准装置
机译: 电子束扫描方法,是使电子束扫描的电子束扫描方法
机译: 电子束扫描机理,电子束装置,电子束曝光装置和电子束扫描方法