法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-24
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G03F7/021 申请公布日:20161221 申请日:20160825
发明专利申请公布后的撤回
2017-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/021 申请日:20160825
实质审查的生效
2016-12-21
公开
公开
机译: 感光性重氮树脂混合物和包含感光性有机过氧化物化合物的感光性重氮树脂混合物
机译: 一种组分的重氮感光树脂感光材料
机译: 一种组分的重氮感光树脂感光材料