公开/公告号CN106225783A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 厦门中莘光电科技有限公司;
申请/专利号CN201610686279.2
发明设计人 刘洪峰;
申请日2016-08-18
分类号G01C21/00(20060101);G01J1/42(20060101);G01J1/44(20060101);
代理机构厦门南强之路专利事务所(普通合伙);
代理人马应森
地址 361009 福建省厦门市中国(福建)自由贸易试验区厦门片区港中路1702号113单元
入库时间 2023-06-19 01:07:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C21/00 申请日:20160818
实质审查的生效
2016-12-14
公开
公开
机译: 用于Si / SiGe光电探测器的(110)硅基板上的垂直侧壁的制造
机译: 使用硅化物形成的波导的高速高效硅基光电探测器,用于近红外应用
机译: 使用硅化物形成的波导的高速高效硅基光电探测器,用于近红外应用