法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-23
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F15/00 申请公布日:20161207 申请日:20160708
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F15/00 申请日:20160708
实质审查的生效
2016-12-07
公开
公开
机译: 确定用于防止电偶腐蚀的半导体装置中电偶腐蚀和互连结构的方法
机译: 防止半导体加工中的电偶腐蚀的方法和装置
机译: 防止电偶腐蚀的装置及其组装方法