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一种坩埚升降法单晶金属生长炉

摘要

本发明公开了一种坩埚升降法单晶金属生长炉,包括炉体,所述炉体内部一侧顶端固定有步进电机,所述步进电机底端与丝杆进行传动连接,所述丝杆上安装有滑块;所述炉体内部另一侧固定有加热炉,所述加热炉中间贯穿设置有炉管,所述炉管与滑块相互固定连接,所述炉管顶端连接有法兰,所述炉管底端连接有真空计;所述炉体内部底端还固定有变压器。本发明通过升降机构实现加热炉匀速起落,能够通过调节电机转速,自由控制升降速度,满足晶体结晶点的变化要求,整套设备结构设计简洁合理,科学实用,适合推广和使用。

著录项

  • 公开/公告号CN106222733A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-12-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 安徽贝意克设备技术有限公司;

    申请/专利号CN201610891676.3

  • 发明设计人 孔令杰;张志琴;吴克松;

    申请日2016-10-12

  • 分类号C30B11/00;C30B29/20;

  • 代理机构北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人胡剑辉

  • 地址 230088 安徽省合肥市高新区科学大道110号

  • 入库时间 2023-06-19 01:05:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-08

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B11/00 申请公布日:20161214 申请日:20161012

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2017-03-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B11/00 申请日:20161012

    实质审查的生效

  • 2016-12-14

    公开

    公开

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