振幅相位联合调制超分辨三维微纳结构形貌测量装置

摘要

本发明公开了一种振幅相位联合调制超分辨三维微纳结构形貌测量装置，包括白光光源、准直系统、数字微镜阵列、第一成像系统、分光棱镜、干涉显微物镜、三维运动工件台、第二成像系统、CCD和控制系统，白光光源发出的光经准直系统后，照射到数字微镜阵列表面，通过控制数字微镜阵列对光场振幅进行调制，调制后的光场经分光镜入射到Mirau干涉显微系统，经过Mirau干涉镜内部分光镜分为两束后分别成像到参考反射镜与待测微纳结构表面，反射光场相位信息受到参考镜面与待测微纳结构纵向高度的调制，两束反射光干涉后通过衍射受限系统，形成的光强分布图像最终被图像采集系统接收。本发明能够实现对大面积微纳结构的超分辨三维形貌检测，可以对高分辨力微纳结构进行检测。