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溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法

摘要

溶剂型表面改性氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于:该制备方法首先对氧化铝颗粒进行粒径分级,再加入分散剂对氧化铝表面进行包覆改性,接着加入有机溶剂和氧化剂搅拌均匀,再经超声振动使其充分分散,后用pH调节剂将抛光液的pH调到2.5-12.5,该发明制备的抛光液具有良好的悬浮分散性,可应用于无水环境下,铝合金、铜、不锈钢和蓝宝石衬底抛光,具有抛光效率高,表面粗糙度小,对基片表面损伤小等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN106147616A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-11-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 天津西美半导体材料有限公司;

    申请/专利号CN201510223481.7

  • 发明设计人 高如山;

    申请日2015-04-28

  • 分类号C09G1/02(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 300384 天津市华苑产业区海泰发展六道6号海泰绿色产业基地G座401室-04-24

  • 入库时间 2023-06-19 00:57:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-26

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C09G1/02 申请公布日:20161123 申请日:20150428

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2017-04-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):C09G1/02 申请日:20150428

    实质审查的生效

  • 2016-11-23

    公开

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