一种谐波减速器用柔性齿轮微弧离子镀表面处理方法

摘要

本发明公开了一种谐波减速器用柔性齿轮微弧离子镀表面处理方法，包括以下实施步骤，首先将清洗和干燥后的柔轮放入四靶微弧离子镀设备真空室中；抽真空后，通入氩气，经过离子溅射清洗去除表面杂质后，然后进行微弧离子镀膜，在铬靶、石墨靶和柔轮上施加一定的电参数，依次沉积纯铬打底层、过渡层以及非晶碳工作层，并控制真空室气压和膜层镀膜时间。本发明方法赋予了减速器高速高承载、低摩耐磨、自润滑的特性。从而提高国产减速器的科技含量和服役寿命。