公开/公告号CN106094449A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市路维光电股份有限公司;
申请/专利号CN201610478055.2
申请日2016-06-25
分类号G03F7/30(20060101);
代理机构深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙);
代理人肖伟
地址 518057 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102
入库时间 2023-06-19 00:48:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/30 申请日:20160625
实质审查的生效
2016-11-09
公开
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