法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N21/63 申请公布日:20161019 申请日:20150310
发明专利申请公布后的驳回
2016-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/63 申请日:20150310
实质审查的生效
2016-10-19
公开
公开
机译: “一种用于在传统干燥带式炉中干燥/固化硅片上筛网图案的装置,以防止硅片直接与带接触,从而消除硅片的污染”
机译: 一种检验硅片表面污染的方法
机译: 表面无损检测装置及表面无损检测方法