一种用于太赫兹时域光谱系统的单片集成器件及制备方法

摘要

本发明公开了一种用于太赫兹时域光谱系统的单片集成器件及制备方法，通过低温GaAs薄膜的剥离转移与键合技术，将太赫兹的产生与接收集成到同一基片上，具有体积小，重量轻，成本低，操作方便的特点。该器件的结构包括：光电导天线、金属波导和基底。光电导天线是由金电极、低温GaAs构成；金属波导是指传输太赫兹的微带线；基底由BCB介质、Au金属背板、硅基底构成。本发明解决了传统太赫兹时域光谱系统的空间占用问题，使系统各部分集成到同一基片上，同时测量过程中仅需极少量样品就能获得相应的信息。另一方面该发明减少了样品测量之前的太赫兹准直调节，使样品测量步骤更加简洁。