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公开/公告号CN106017789A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 英飞凌科技股份有限公司;
申请/专利号CN201610104463.1
发明设计人 A·阿尔迈尔;S·贝尔;J·丹格尔迈尔;B·克诺特;T·米勒;H·托伊斯;H·维茨肖克;
申请日2016-02-25
分类号G01L19/14;H01L23/28;H01L21/56;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人周家新
地址 德国瑙伊比贝尔格市
入库时间 2023-06-19 00:38:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-10
授权
2016-11-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L19/14 申请日:20160225
实质审查的生效
2016-10-12
公开
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