公开/公告号CN101405215B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社半导体能源研究所;
申请/专利号CN200780009662.3
申请日2007-05-08
分类号B81C3/00(20060101);B81B3/00(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人郭放
地址 日本神奈川
入库时间 2022-08-23 09:12:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-01-09
授权
授权
2009-07-22
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-08
公开
公开
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机译: 微结构体,微机械传感器,微致动器,微光学极化,光学扫描显示及其制造方法
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