采用部分相干光场式漫反射屏的面形检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种采用部分相干光场式漫反射屏的面形检测装置及检测方法，部分相干光源发出部分相干光束，经空间光调制器调制，入射至石英平板，石英平板将调制后的部分相干光束漫反射至实验平台上的被检元件，经被检元件反射，将携带被检元件面形信息的部分相干光束反射至成像物镜，经成像物镜成像后，被探测器的靶面接收，探测器将采集到的相位分布信息输入计算机，经计算机进行光场分析计算，利用得到的相位分布反演出被检元件的面形。本发明的优点在于利用部分相干光源的相干性，结合空间光调制器对光强的调制作用，使得石英平板漫反射的光同时具有相干性和可调控性。