コヒーレントスキャトロメトリィ顕微鏡を用いたマスク検査装置の開発

摘要

本研究では従来の顕微光学系によらない新しい検査法として、光学の原理原則に立ち返り、コヒーレント光によって瞳面上に形成される回折パタンを計算機上で処理する方法により、これまでの微細化のパラダイムでは実現不可能な高精度な計測法の開発を進める。光源には産業利用の観点からスタンドアロン型とし、極短パルスレーザーの高次高調波成分から13.5nmの極端紫外光を発生させる。本研究は2008年度よりJST CREST として進めたものである。