コヒーレントEUVスキャトロメトリー顕微鏡用光源としての13.5nm高次高調波発生システムの開発領

摘要

本研究では装置の実用化を念頭に置き市販のレーザーシステムを励起レーザーとして利用することにした。また，高次高調波発生装置もできるだけ簡易なものとした。これらの装置を用いて波長13.5nmにおいて空間的にフルコヒーレントで放射光の1000倍以上の出力を発生させることおよびこれをもちいてEUVマスクの欠陥検出をおこなうことを目的として研究を進めている。高次高調波自体は科学研究においては非常に重要なツールとして認識されているがこれまで産業応用に直結する応用はなく本研究を通じて成果を上げることで研究分野の活性化が期待できる。