法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-19
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01P15/08 申请公布日:20160921 申请日:20160615
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/08 申请日:20160615
实质审查的生效
2016-09-21
公开
公开
机译: 具有叉指式结构的FET-具有半导体衬底,两个电极的元件在叉指上交指
机译: 具有叉指式结构的FET-具有半导体衬底,两个电极的元件在叉指上交指
机译: 微机械加工的双轴加速度计,具有活动和固定电极,放置有活动和固定手指,从而形成叉指状梳状微结构,该结构与另一组活动和固定电极形成的微结构重叠