公开/公告号CN105870219A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201610388352.8
申请日2016-06-02
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-06-19 00:20:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/0224 申请公布日:20160817 申请日:20160602
发明专利申请公布后的驳回
2016-09-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0224 申请日:20160602
实质审查的生效
2016-08-17
公开
公开
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