导体柱及其制造方法、封装芯片的方法和芯片倒装产品

摘要

本发明涉及导体柱及其制造方法、封装芯片的方法和芯片倒装产品。一种制造导体柱的方法，包括以下步骤：使用靶材，对芯片电极的表面、或形成于芯片中的孔的孔壁、或者封装基板的线路表面进行离子注入和/或等离子体沉积处理，以形成导电籽晶层(步骤S1)；以及，在导电籽晶层的上方形成柱状的导体加厚层，该导体加厚层和导电籽晶层组成导体柱(步骤S2)。