活动结构及使用该活动结构的微镜器件

摘要

在活动结构中，通过提高铰接单元的抗张刚度或抗弯刚度，同时抑制铰接单元的扭转刚度，提高活动板的摆动动作的稳定性。用一对支架3a和跨接在所述一对支架3a之间的过梁3b形成具有蜂窝状部分3c的梯状物形状的铰接单元3，以便可转动地支持活动板2。在用铰接单元3的蜂窝状部分3c抑制铰接单元3的扭转刚度的同时，提高抗张刚度或抗弯刚度。