法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01R35/04 申请公布日:20160824 申请日:20150126
发明专利申请公布后的驳回
2016-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R35/04 申请日:20150126
实质审查的生效
2016-08-24
公开
公开
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机译: 物联网一种基于物联网的智能组件工艺管理方法及使用该方法的基板处理系统
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