用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置

摘要

本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，包括两个相对布置的空心阴极（11、12），其中空心阴极（11、12）被连接到脉冲发生器（15）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（11、12）之间产生双极脉冲电压。在此，两个空心阴极（11、12）之间的空间沿着延长的空心阴极轴线（13）被挡板（14）包围并且两个空心阴极（11、12）至少部分地被挡板（14）包围，其中挡板面具有至少一个开口（18）。