方法及具有包含金属源极的存储器单元的串的设备

摘要

本发明揭示用于形成存储器单元的串的方法、一种具有存储器单元的串的设备及一种系统。一种用于形成存储器单元的所述串的方法包括在衬底上方形成金属硅化物源极材料。对所述金属硅化物源极材料进行掺杂。存储器单元的垂直串形成在所述金属硅化物源极材料上方。半导体材料垂直形成且邻近于存储器单元的所述垂直串并耦合到所述金属硅化物源极材料。