基于高阻ZnO薄膜的光电导型X射线探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于高阻ZnO薄膜的光电导型X射线探测器及其制备方法，包括壳体、两条引线、以及设于壳体内且自上到下依次设置的电极层、ZnO膜层及衬底基片，所述电极层由若干等间距分布的Al膜组成，其中一个引线与一部分Al膜相连接，另一个引线与另一部分Al膜相连接，与且两个引线连接的Al膜交错分布。本发明具有低噪声、高灵敏度、快速响应特性，制备成本较低。