法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B5/06 申请公布日:20160615 申请日:20160217
发明专利申请公布后的驳回
2016-07-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B5/06 申请日:20160217
实质审查的生效
2016-06-15
公开
公开
机译: 膜层厚度调整方法及膜层厚度调整装置
机译: 通过将薄膜层变形为反射式聚光镜来执行薄膜层厚度计量的设备和方法
机译: 通过将薄膜层变形为反射式聚光镜来执行薄膜层厚度计量的设备和方法