法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-16
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):A01H1/02 申请公布日:20160608 申请日:20160201
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):A01H1/02 申请日:20160201
实质审查的生效
2016-06-08
公开
公开
机译: 一种用于光刻设备的薄皮,该薄皮方法用于光刻设备,一种光刻设备,一种设备制造方法,一种用于处理薄皮的设备以及一种用于处理薄皮的方法。皮肤薄
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