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控制GLSI多层铜布线精抛碟形坑延伸的碱性抛光液应用

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摘要

本发明涉及一种控制GLSI多层铜布线精抛碟形坑延伸的碱性抛光液应用，主要由纳米Si0

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-04-24

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B37/04 申请公布日:20160601 申请日:20151224

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-06-29

实质审查的生效 IPC(主分类):B24B37/04 申请日:20151224

实质审查的生效
2016-06-01

公开

公开

1. 控制GLSI多层铜布线精抛碟形坑延伸的碱性抛光液应用 [P] . 中国专利： CN105619235A . 2016-06-01
2. 碱性抛光液在低压力下提高GLSI铜布线铜膜去除速率的应用 [P] . 中国专利： CN105506632A . 2016-04-20
3. COPPER-FIBER NON-WOVEN CLOTH FOR WIRING, WIRING UNIT, METHOD FOR COOLING COPPER-FIBER NON-WOVEN CLOTH FOR WIRING, AND TEMPERATURE CONTROL METHOD FOR COPPER-FIBER NON-WOVEN CLOTH FOR WIRING [P] . 欧洲知识产权局专利： EP3570297A1 . 2019-11-20

机译：布线用铜纤维无纺布，布线单元，冷却布线用铜纤维无纺布的方法以及布线用铜纤维无纺布的温度控制方法
4. COPPER-FIBER NON-WOVEN CLOTH FOR WIRING, WIRING UNIT, METHOD FOR COOLING COPPER-FIBER NON-WOVEN CLOTH FOR WIRING, AND TEMPERATURE CONTROL METHOD FOR COPPER-FIBER NON-WOVEN CLOTH FOR WIRING [P] . 世界知识产权组织专利： WO2018131706A1 . 2018-07-19

机译：布线用铜纤维无纺布，布线单元，冷却布线用铜纤维无纺布的方法以及布线用铜纤维无纺布的温度控制方法
5. Polishing liquid, polishing liquid set, polishing method and defect control method [P] . 韩国专利： KR20200055077A . 2020-05-20

机译：抛光液，抛光液组，抛光方法和缺陷控制方法