一种基于平面波导的光开关及其制造方法

摘要

本发明涉及一种平面波导的光开关及其制造方法。本发明就是提供一种结构紧凑，体积小，便于系统集成，可以同时解决现有光开关的波长敏感性和温度敏感性问题的一种基于平面波导的光开关及其制造方法。一种基于平面波导的光开关包括平面衬底和设置在平面衬底上的M-Z干涉仪，其结构要点在于M-Z干涉仪包括入射波导、3dB耦合器、出射波导和并联在两个3dB耦合器之间的主波导、分支波导，主波导表面设置有金属加热器，主波导包括两种热光色散系数材料组成两个波导分支。