基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关及制造方法

摘要

本发明公开了一种基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关，包括：硅基衬底；覆盖于所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；折射率高于所述二氧化硅缓冲层，并镀在所述二氧化硅缓冲层上的二氧化硅芯层；覆盖于所述二氧化硅芯层上的二氧化硅上包层。其中，所述二氧化硅芯层的芯层波导为两个多模干涉仪组成的马赫‑曾德干涉仪，该马赫‑曾德干涉仪的马赫‑曾德干涉臂下埋有用于对波导进行加热以调制相位的金属电极。通过调节附加在金属电极上的电压可实现光信号在波导输出端口的切换。具有结构简单、成本低、高消光比、低偏振相关损耗等优点，在未来高速动态光网中的光路切换节点处具有重要的潜在应用。