真空操作设备以及更换真空设备耗材的方法

摘要

本发明提出了一种真空操作设备以及更换真空设备耗材的方法。该设备包括：壳体，壳体限定出反应空间；耗材，耗材设置在反应空间中；耗材更换口，耗材更换口设置在壳体上；第一真空腔；第二真空腔，第二真空腔与所述第一真空腔相连；第三真空腔，第三真空腔与第一真空腔相连；第一导轨，第一导轨穿过第二真空腔和第一真空腔，用于将耗材从反应空间中转移至第二真空腔中；以及第二导轨，第二导轨穿过第三真空腔和第一真空腔，用于将补充耗材输送至反应空间中。由此，可以避免更换耗材时对整个反应空间进行破真空，进而缩短了抽真空所需要的时间，从而提高了该设备的稼动率以及生产效率。