法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B23K9/16 申请公布日:20160316 申请日:20151201
发明专利申请公布后的驳回
2016-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):B23K9/16 申请日:20151201
实质审查的生效
2016-03-16
公开
公开
机译: 在工作真空室中产生空心阴极电弧放电等离子体并通过减少流过空心阴极的气体流量来调节暴露于空心阴极电弧放电等离子体的物料蒸汽颗粒的方法
机译: 在真空中进行等离子体活性汽化的方法包括使蒸汽在从汽化器到基板的路径上经过空心阴极辉光放电的高密度等离子体区域
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置