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用于制备具有对称晶界的硅锭的方法

摘要

本发明涉及一种用于制备具有对称晶界(6)的硅锭(5)的方法,其至少包括由以下组成的步骤:(i)提供具有纵向轴线(Z)的坩埚,其底部包括由具有正方形或长方形底部的单晶硅立方晶种形成的铺面并被连续放置;所述铺面,当根据轴线(Z)观察时,为平行于晶种边缘的正交方向(x)和(y)的网格形状;和(ⅱ)通过在与轴线(Z)共线的生长方向的晶种生长进行硅的受控凝固;其特征在于,步骤(i)中的所述铺面由相同的硅晶种制备,其中方向(x)上的两个连续晶种通过翻转轴线(y)互为映像且方向(y)上的两个连续晶种通过翻转轴线(x)互为映像,且两个连续晶种的结晶阵列之间的取向差2θ大于4°。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-06-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B11/14 申请日:20140526

    实质审查的生效

  • 2016-03-02

    公开

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