公开/公告号CN112553686A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司;
申请/专利号CN201910851957.X
申请日2019-09-10
分类号C30B28/06(20060101);C30B29/06(20060101);B28D5/00(20060101);
代理机构32235 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人韩晓园
地址 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
入库时间 2023-06-19 10:25:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-02-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B28/06 专利申请号:201910851957X 申请公布日:20210326
发明专利申请公布后的驳回
机译: 中空棱晶硅锭生产用锅,中空棱晶硅锭的生产方式和等离子蚀刻装置用部件的生产方式,是用于中空棱晶硅锭的生产设备和
机译: 中空棱晶硅锭生产用锅,中空棱晶硅锭的生产方式和等离子蚀刻装置用部件的生产方式,是用于中空棱晶硅锭的生产设备和
机译: 硅玻璃坩埚的应变测量装置,硅单晶的制造方法,硅玻璃坩埚的应变测量方法,相差图,金属锭和同晶硅片