椭圆偏振光检测方法及装置

摘要

椭圆偏振光检测方法及装置，涉及椭圆偏振光特性检测技术。本发明将待检测光通过角向偏振片后，再经扩束镜扩束，然后入射至CCD的探测面，CCD获得的图像为由两个相对的暗区和两个相对的亮区所构成的圆形光斑，测量该光斑中亮区的光强最大值和暗区的光强最小值，所述最大值与最小值的比值为椭圆偏振光的长短轴之比，最大值和最小值的位置分别对应长轴和短轴的方向。本发明不同于常规的机械旋转法，而是对光斑直接进行测量，得到长短轴方向和长短轴之比，误差大大减小，适用于椭圆偏振光特性检测。