一种利用干法缓冲层制作CIGS薄膜太阳能电池的方法

摘要

一种利用干法缓冲层制作CIGS薄膜太阳能电池的方法，该方法包含：步骤1，在钠钙玻璃上制备Mo层；步骤2，在Mo层上制备CIGS层；步骤3，在CIGS上利用直流磁控溅射方法制备Zn(O,S)薄膜层；步骤4，对制备好的Zn(O,S)薄膜在空气中进行退火处理以释放其应力，进一步改善成膜质量；步骤5，在Zn(O,S)层上制备掺铝氧化锌(AZO)层，构成CIGS薄膜太阳能电池器件。本发明制备过程中不产生废液，不会对制备人员及环境造成影响，CIGS电池器件整体制备工艺的连续性更好。本发明提供的干法缓冲层可以有效地减少对蓝光的吸收,增加光谱响应范围,提高太阳能电池效率。